器件物理与设计

量子阱、有源区与增益模型

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建议已掌握 第 7 章第 17 章 中关于阈值增益、SCH、能带对齐与光学约束因子的内容。

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本章所处模型层级:L2

上一章已经说明,量子阱并非孤立插入在层栈中的一层发光材料,而是与 SCH、异质结台阶和损耗重叠一起决定器件工作点的核心部件。本章进一步把这个结构转化为有源区工程语言。我们先从“为什么量子阱增益必须和能带工程一起讨论”开始,随后依次分析 SQW 与 MQW 的设计权衡、应变与 TE/TM 增益差异、限制层与电子/空穴阻挡层的作用,再把材料增益映射到模增益,最后明确指出:即便这一整条链已经写清,器件级阈值电流仍要等 第 19 章第 20 章 才能闭合。

贯穿案例 B0:把层栈变成增益输入

本章沿用 B0 的 3--5 个 InGaAs 量子阱和上一章算得的 Γopt\Gamma_{\mathrm{opt}}。真正进入计算前,还必须用目标材料的阱宽、组分、应变和温度数据重新标定材料增益

gmat=gmat(ω,N,T).g_{\mathrm{mat}}=g_{\mathrm{mat}}(\omega,N,T).

本书不把这些未指定参数伪装成已知的文献配方。本章的交付量是增益峰 λg(N,T)\lambda_g(N,T)、透明载流子密度以及 gmod=Γoptgmatg_{\mathrm{mod}}=\Gamma_{\mathrm{opt}}g_{\mathrm{mat}},它们随后与冷腔损耗共同给出 NthN_{\mathrm{th}},但还不能直接给出 IthI_{\mathrm{th}}

为什么本章不能写成一般半导体激光器的量子阱综述

量子阱和增益模型看上去像半导体激光器的一般话题,但对 PCSEL 来说,它们必须围绕一个更具体的问题来组织:前面章节已经给出一组候选模、辐射损耗和阈值增益需求,现在有源区究竟能否在真实外延层里把这些候选模中的某一支推到阈值之上?

这句话的关键在于“某一支模式”。PCSEL 要问的是:哪一支面内反馈模式会在特定纵向重叠和横向分布下得到最大的有效模增益;知道材料“有增益”还不够。因此,有源区工程必须从一开始就和 第 7 章第 8 章第 17 章第 19 章第 20 章 同时对接。若把这一章写成一般性的 QW 增益综述,就会失去它在本书主线中的位置。

量子阱为什么是 PCSEL 有源区的自然选择

量子阱(Quantum Well, QW)之所以在 PCSEL 中几乎成为默认有源区,根本原因是它适合满足两个器件需求,而非笼统地“比体材料更先进”。第一,要在有限注入与有限损耗条件下提供足够高的材料增益;第二,要让增益谱、偏振选择和工作波长可以被材料与结构参数共同调节。

从能带观点看,量子阱把电子和空穴限制在窄势阱中,使纵向态量子化,改变了态密度与跃迁选择规则。这样做的结果,是在目标波段附近更容易形成较高的受激辐射增益,并允许通过阱宽、组分和应变工程调节增益峰位置和偏振特性。对 PCSEL 而言,这种可调谐性尤为重要,因为器件最终能否起振,不仅取决于模式损耗,还取决于增益峰是否与前面光学章节得到的候选模频率真正对齐。

SQW 与 MQW:不是多放几层阱这么简单

最直观的设计分支是单量子阱(single quantum well, SQW)和多量子阱(multiple quantum wells, MQW)。如果只看材料增益的峰值,似乎多量子阱总更有利,因为总有源体积更大;但真实 PCSEL 设计必须同时看四个量:总可用增益、载流子在各阱之间的分配均匀性、应变累积以及与纵向模剖面的重叠。

为了帮助读者直观理解应变量子阱中的能带结构及其对偏振特性的影响,图 18.1展示了一个典型的 InGaAs/GaAs 压应变量子阱示意。图中显示三个关键特征:第一,导带电子的抛物线型能带色散关系 Ec(z)E_c(z);第二,价带中重空穴带(HH,EHHE_{\mathrm{HH}})和轻空穴带(LH, ELHE_{\mathrm{LH}})在应变作用下发生分裂 δEstrain\delta E_{\mathrm{strain}};第三,量子化能级 Ec1E_{c1}Ehh1E_{hh1}Elh1E_{lh1} 及其包络波函数分布。对常见 (001) 压应变 InGaAs/GaAs 量子阱,HH 带上移后 C1-HH1 跃迁通常增强平面内偶极分量,因此更有利于 TE 增益而非 TM 增益;张应变情形才可能提升 TM 分量[Coldren et al., 2012] [Ahn, 1995] [Nicholes et al., 2008]。图中的虚线框出了量子阱区域(宽度常见为数纳米到十纳米量级,具体取决于材料体系与应变预算),两侧为 AlGaAs 或 GaAsP 势垒层。

压应变量子阱的能带结构及其偏振调控机制。(a)未加应变时,GaAs 体材料的价带顶由重空穴带(HH)和轻空穴带(LH)近简并构成;(b)施加双轴压应变后,HH 与 LH 分裂,HH 带上移;(c)量子化后的能带结构:导带形成电子子带 C1,价带形成 HH1 与 LH1。对常见压应变 InGaAs/GaAs 量子阱,C1-HH1 跃迁的偶极矩主要平行于量子阱平面,通常对应 TE 主导;若采用张应变设计,TM 分量可增强。
压应变量子阱的能带结构及其偏振调控机制。(a)未加应变时,GaAs 体材料的价带顶由重空穴带(HH)和轻空穴带(LH)近简并构成;(b)施加双轴压应变后,HH 与 LH 分裂,HH 带上移;(c)量子化后的能带结构:导带形成电子子带 C1,价带形成 HH1 与 LH1。对常见压应变 InGaAs/GaAs 量子阱,C1-HH1 跃迁的偶极矩主要平行于量子阱平面,通常对应 TE 主导;若采用张应变设计,TM 分量可增强[Coldren et al., 2012] [Ahn, 1995] [Nicholes et al., 2008]图 18.1 · 原始 LaTeX/TikZ 图源独立渲染

图 18.1揭示的物理机制是 PCSEL 偏振控制的基石之一:通过精心设计的压应变,可以主动操纵价带结构,使特定偏振方向的增益占据主导地位。这对于需要稳定线偏振输出的PCSEL应用(如泵浦源、传感)至关重要。

SQW的优点是结构简单、界面少、参数少,更容易把增益峰和模式重叠关系看清楚,因此非常适合作为理论推导和前期参数扫描的基准模型。它的缺点则是总有源体积有限,一旦目标模式损耗不够低,单阱可能难以提供足够的阈值增益裕量。

MQW 的优势在于可以在相同波导区内堆叠多个阱,从而提高总模增益容量,并在一定程度上分散单阱载流子密度需求。但 MQW 并非“阱越多越好”。随着阱数增加,首先会出现应变累积和生长质量压力;其次,注入后的电子与空穴未必能在各阱中均匀分布,靠近注入一侧的阱可能先被过度填充,远侧阱则利用不足;再次,若模式主峰没有覆盖所有阱,额外增加的阱也不一定真正转化为模增益。

因此,SQW 与 MQW 的权衡不能只用一句“MQW 增益更高”结束,而应当回答:在给定的 第 17 章 纵向模剖面下,增加阱数到底是提高了 Γoptgmat\Gamma_{\mathrm{opt}}g_{\mathrm{mat}},还是只是增加了生长、应变和注入不均匀性风险。

有源区工程为什么必须回到能带图:阱、势垒、限制层和阻挡层

量子阱从来不是单独设计的,真正可工作的有源区总是由阱层、势垒层、SCH、限制层以及必要时的电子阻挡层(electron blocking layer, EBL)或空穴阻挡层(hole blocking layer, HBL)共同组成。它们分别回答不同问题。

阱层决定目标跃迁能量和增益峰位置;势垒层把相邻阱分开,控制载流子耦合和俘获;SCH 提供光学波导背景;限制层和阻挡层则更偏向输运工程,用来抑制电子向 p 侧泄漏、或在需要时抑制空穴向 n 侧回流。对于前面章节已经给出的 PCSEL 冷腔候选模而言,这些层的作用是把“有源区应该在哪一段纵向位置有效工作”这件事做成可设计对象。

工程上常把量子阱和势垒区域的材料增益写成

gmat=gmat(ω,N,T,ϵstrain,B),g_{\mathrm{mat}} = g_{\mathrm{mat}}(\omega, N, T, \epsilon_{\mathrm{strain}}, \mathcal{B}),(18.1)

其中 NN 是局域载流子密度,决定反转是否足够;TT 为温度,决定增益峰和透明载流子密度会不会漂移;ϵstrain\epsilon_{\mathrm{strain}} 是应变状态,决定价带分裂和 TE/TM 跃迁强度;B\mathcal{B} 代表阱宽、势垒厚度和组分等能带工程参数,决定量子化能级和势垒高度。式 (18.1) 属于有源材料模型。它强调了一件常被忽略的事实:材料增益是有源区工程的整体结果。

若把这一步再往量子力学层面退回半步,就能看见前一章的能带台阶为什么会直接进入增益谱。对有限深量子阱,阱内包络函数是振荡解,势垒中则转为指数衰减解;两者在界面上做波函数与流密度连续匹配时,会得到由 kwellk_{\mathrm{well}}κbarrier\kappa_{\mathrm{barrier}} 共同决定的量子化条件。于是,ΔEc\Delta E_cΔEv\Delta E_v 并不只是“能带图上的台阶高度”,而是实际决定电子、空穴子带能级与束缚程度的势阱深度。对本章主线而言,最关键的因果链是:导带/价带台阶决定量子化能级,量子化能级决定主跃迁能量,主跃迁能量最终把增益峰 λg\lambda_g 锚定在某个波长附近。

若只想抓住进入阈值链的最小结构,可以先把目标模波长 λm\lambda_m 相对增益峰波长 λg\lambda_g 的失谐写成

Δλ=λmλg(N,T),\Delta\lambda=\lambda_m-\lambda_g(N,T),(18.2)

并在峰值附近用一个最简二次近似表示

gmat(λm,N,T)gpk(N,T)aλ(N,T)Δλ2.g_{\mathrm{mat}}(\lambda_m,N,T) \approx g_{\mathrm{pk}}(N,T) -a_{\lambda}(N,T)\,\Delta\lambda^2.(18.3)

式 (18.3) 是教材化的最小代理模型(其中 aλa_{\lambda} 的量纲为 cm1nm2\mathrm{cm}^{-1}\mathrm{nm}^{-2},确保量纲与增益一致),而非通用材料定律。其适用窗口必须绑定材料平台与工作波段:以 1.55\,μm InP 系 PCSEL 报道为例,增益谱半高宽常见于 2020--30nm30\,\mathrm{nm} 量级,抛物线近似在峰值附近 Δλ10nm|\Delta\lambda|\lesssim10\,\mathrm{nm} 常可用于一阶估算[Wang et al., 2024] [Moodie et al., 2024];对 GaN/深紫外等平台,谱形与展宽机制差异更大,应重新标定窗口而非平移复用该区间[Coldren et al., 2012] [Apaydin et al., 2025]。它的作用是把“模式波长是否压在增益峰上”这件事,直接写成可计算的阈值链一环。

2024--2026 前沿补充:跨材料平台增益窗口不可直接平移

最新器件结果进一步强调了“平台绑定”的必要性:可见光 GaN-PCSEL、1.55 μ\mum InP-PCSEL 与深紫外 PCSEL 的增益谱宽、温漂和可用工作窗口并不共享同一组经验常数[Taguchi et al., 2024] [Aoki et al., 2024] [Apaydin et al., 2025]。因此,本章所有失谐、增益窗口与阈值裕量参数,都应写成“平台 + 温区 + 注入条件”三元条件化形式。

对工程读者,一个实用准则是:

多量子阱与阻挡层的能带示意。这里的每一道台阶都不仅影响载流子受限,也会通过 ŗefch:epitaxial-optics 的重叠因子与损耗分布间接改写目标模式的有效增益。
多量子阱与阻挡层的能带示意。这里的每一道台阶都不仅影响载流子受限,也会通过 第 17 章 的重叠因子与损耗分布间接改写目标模式的有效增益。图 18.2 · 原始 LaTeX/TikZ 图源独立渲染

应变工程和 TE/TM 增益差异:为什么它在 PCSEL 中尤其不能忽略

在普通边发射激光器里,讨论 TE/TM 增益差异已经很常见;在 PCSEL 中,这个问题更关键,因为前面 第 8 章 已经表明偏振选择和远场工程是器件设计的一部分。若有源区材料天然偏向某一偏振,而光学腔又偏好另一支矢量模,那么冷腔候选模与真正激射模之间的差距就会被进一步拉大。

应变工程的物理核心,是通过晶格失配引入压应变或张应变,改变价带顶的重空穴、轻空穴分裂和跃迁矩阵元,从而改写 TE 与 TM 增益分量。压应变量子阱通常更有利于 TE 极化跃迁,这对大多数以近 TE-like slab 模为目标的 PCSEL 是有利的;而张应变则可能增强 TM 分量。工程上,若你希望有源区与 PCSEL 的目标偏振对齐,应变设计就必须与 第 8 章 的模式对称性和偏振选择一起考虑,而不能在材料章节里单独处理。

在符号上,可把材料增益拆成偏振分量

gmat=gmat,TEe^TE+gmat,TMe^TM,g_{\mathrm{mat}} = g_{\mathrm{mat,TE}}\,\hat{e}_{\mathrm{TE}} + g_{\mathrm{mat,TM}}\,\hat{e}_{\mathrm{TM}},

或者更常见地分别讨论两个标量谱。真正进入模阈值条件时,对某一候选模 mm 应写

gm,modΓmgmat,p(m)αm,int,g_{m,\mathrm{mod}} \approx \Gamma_m g_{\mathrm{mat},p(m)} - \alpha_{m,\mathrm{int}},(18.5)

其中 p(m)p(m) 表示该模主要采样的偏振分量。式 (18.5) 属于光学模与有源材料的接口公式。它清楚地说明:同一组量子阱参数,对不同偏振候选模给出的有效增益未必相同。PCSEL 的偏振选择,并非纯冷腔对称性问题,也是二者共同作用的结果,而非纯材料问题。

若想把这种联合选择写得更定量,可再引入模式对 TE/TM 分量的采样权重 ηm,TE\eta_{m,\mathrm{TE}}ηm,TM\eta_{m,\mathrm{TM}},满足

ηm,TE+ηm,TM=1.\eta_{m,\mathrm{TE}}+\eta_{m,\mathrm{TM}}=1.

则更一般的接口式可写成

gm,modΓm ⁣[ηm,TEgmat,TE+ηm,TMgmat,TM]αm,int.g_{m,\mathrm{mod}} \approx \Gamma_m\!\left[ \eta_{m,\mathrm{TE}}g_{\mathrm{mat,TE}} + \eta_{m,\mathrm{TM}}g_{\mathrm{mat,TM}} \right] -\alpha_{m,\mathrm{int}}.(18.6)

式 (18.6) 明确表明:即使冷腔更偏好某一支偏振家族,若有源区的 TE/TM 增益分裂朝着相反方向偏置,真正的激射模排序仍可能被重新洗牌。

电子阻挡层、空穴阻挡层和限制层到底在帮谁

从器件直觉看,EBL/HBL 似乎只是 第 19 章 输运章节的内容,因为它们的直接作用是阻挡泄漏载流子。但就本章主线而言,它们其实在回答一个更精确的问题:你希望 第 17 章 给出的量子阱重叠和纵向模式位置,对应的是“已被有效填充的有源区”,还是一个光场分布较理想、但载流子正在越层泄漏的伪有源区?

电子阻挡层最典型的任务,是在量子阱上方提高导带势垒,抑制电子在高注入和高温时越过有源区进入 p 侧包层。空穴阻挡层或优化的限制层则在需要时帮助改善空穴的空间分配,避免空穴过度停留在波导或某一侧阱区。对 PCSEL 来说,这些层的价值在于帮助模式真正“看见”一个更接近设计初衷的增益分布。

阻挡层的器件意义,在于避免本章的材料增益在映射到 第 19 章 的注入分布时被严重稀释。

从材料增益到模增益:上一章的重叠因子在这里真正接上线

材料增益只有通过模式重叠,才会变成器件真的能用的模增益。最常用的近似写法是

gmod(ω,N,T)=Γoptgmat(ω,N,T),g_{\mathrm{mod}}(\omega,N,T) = \Gamma_{\mathrm{opt}}\,g_{\mathrm{mat}}(\omega,N,T),(18.7)

其中 Γopt\Gamma_{\mathrm{opt}} 来自 第 17 章 的纵向重叠。注意内部损耗 αint\alpha_{\mathrm{int}}(包括自由载流子吸收、金属邻近损耗、表面损伤损耗等)不应从模增益中减去,而是出现在阈值条件中:

gmod(Nth,T)=αrad+αint.g_{\mathrm{mod}}(N_{\mathrm{th}},T) = \alpha_{\mathrm{rad}} + \alpha_{\mathrm{int}}.(18.8)

式 (18.7) 属于光学与有源材料的接口公式。它最重要的教学意义有两点:第一,材料增益高不自动等于模增益高;第二,即使材料增益已经对齐了目标波长,也仍可能被内部损耗吃掉。

式 (18.1)式 (18.3)式 (18.7) 连起来,本章真正要交给下一章的算式链就是

gmat(λm,N,T)Γoptgmatgmodgth.g_{\mathrm{mat}}(\lambda_m,N,T) \rightarrow \Gamma_{\mathrm{opt}}\,g_{\mathrm{mat}} \rightarrow g_{\mathrm{mod}} \rightarrow g_{\mathrm{th}}.(18.9)

只有沿着这条链逐层下去,读者才不会把“材料增益峰更高”误当成“目标模式阈值一定更低”。

若有源区填充在空间上并不均匀,则应写成加权积分形式

gmod=VQWgmat(r)ε(r)E(r)2dVVε(r)E(r)2dVαint.g_{\mathrm{mod}} = \frac{\int_{V_{\mathrm{QW}}} g_{\mathrm{mat}}(\rvec)\,\varepsilon(\rvec)|\E(\rvec)|^2\,\dd V} {\int_V \varepsilon(\rvec)|\E(\rvec)|^2\,\dd V} - \alpha_{\mathrm{int}}.(18.10)

这条式子已经提前把 第 19 章 的注入非均匀性引进来了:同一个 MQW 结构,若电子泄漏或空穴分布不均导致各阱填充不同,最终参与模式竞争的并非某条理想均匀材料增益曲线,而是一个被器件输运重新加权后的局域增益场。

透明载流子密度、微分增益和工作点灵敏度

在器件教材里,透明载流子密度 NtrN_{\mathrm{tr}} 与阈值载流子密度 NthN_{\mathrm{th}} 必须严格区分。NtrN_{\mathrm{tr}} 对应材料净增益刚好为零的状态;而 PCSEL 真正达到阈值时,需要的是模增益补偿 第 7 章 已经定义的总损耗,因此 NthN_{\mathrm{th}} 通常显著高于 NtrN_{\mathrm{tr}}。对 GaAs/InGaAs 量子阱体系,若把它粗略换算成三维等效载流子密度,NtrN_{\mathrm{tr}} 常落在 1018cm310^{18}\,\mathrm{cm}^{-3} 量级。混淆透明与阈值载流子密度,会系统性低估器件级注入需求。

另一个必须写出来的量是微分增益

gN=gmatN.g_N = \frac{\partial g_{\mathrm{mat}}}{\partial N}.(18.11)

式 (18.11) 属于有源材料模型。在 PCSEL 中,它不仅关系到调制响应,还关系到模式竞争的脆弱性。若某个模式虽然阈值附近占优,但对应的微分增益很低,则注入稍有不均匀或温度略有漂移时,另一模式就可能通过局域增益优势反超。于是,微分增益在 PCSEL 中不是只服务于高速分析,也服务于模式稳定性判断。

把上一章的阈值条件接回来,最小阈值载流子估计可写成

Γoptgmat(ωm,Nth,Tth)αint(Nth,Tth)=gth,m,\Gamma_{\mathrm{opt}}\,g_{\mathrm{mat}}(\omega_m,N_{\mathrm{th}},T_{\mathrm{th}}) -\alpha_{\mathrm{int}}(N_{\mathrm{th}},T_{\mathrm{th}}) = g_{\mathrm{th},m},(18.12)

而在阈值附近做一阶展开时,

δgmatgNδN+gmatTδT+gmatλδλ.\delta g_{\mathrm{mat}} \approx g_N\,\delta N + \frac{\partial g_{\mathrm{mat}}}{\partial T}\delta T + \frac{\partial g_{\mathrm{mat}}}{\partial \lambda}\delta\lambda.(18.13)

式 (18.12)式 (18.13) 把“材料增益到模增益再到阈值载流子”的桥接真正写实了:阈值是由载流子、温度和模-增益峰失谐一起决定,而非由单个 NN 决定。

简化增益模型、真实模型与它们各自的边界

在设计前期或参数不完整时,人们常用线性化模型

gmatgN(NNtr)g_{\mathrm{mat}} \approx g_N (N-N_{\mathrm{tr}})(18.14)

或对数模型

gmat=g0ln ⁣(NNtr).g_{\mathrm{mat}} = g_0 \ln\!\left(\frac{N}{N_{\mathrm{tr}}}\right).(18.15)

这两类模型都非常有用,但它们的正确身份必须被说清:它们是真实器件问题的简化代理模型。如果你的目标只是比较几个晶格参数和层栈方案在阈值附近的大致排序,这类模型足够高效;如果你的目标已经变成宽温区、强应变、多偏振耦合或高注入工作点的准确预测,就必须使用更真实的材料增益模型,把量子阱能级、谱线展宽、温度漂移和偏振分量显式纳入。

在 PCSEL 里,之所以要比一般教材更强调这点,是因为前面章节的冷腔候选模本身就很多。一旦增益模型过于粗糙,你很容易得到看似“模式 A 只比模式 B 高一点阈值裕量”的结论,但这点差别完全可能只是模型粗化误差,而非真实器件物理。因此,使用任何简化增益模型时都应写明参数来源、适用注入区间、温度范围和应变/偏振适用性。

为什么到这里仍然不能推出阈值电流

当本章写到这里,读者已经具备一条完整而严格的符号链:

[阱宽、势垒、应变、阻挡层]gmat(ω,N,T)gmod(ω,N,T)gthNth.\begin{aligned} \bigl[\text{阱宽、势垒、应变、阻挡层}\bigr] &\rightarrow g_{\mathrm{mat}}(\omega,N,T) \\ &\rightarrow g_{\mathrm{mod}}(\omega,N,T) \\ &\rightarrow g_{\mathrm{th}} \rightarrow N_{\mathrm{th}}. \end{aligned}(18.16)

这条链已经足够说明“为什么同一个冷腔模式,在不同有源区工程下会有不同阈值载流子需求”。但它仍然没有告诉你:外加电流是否能在真实器件中把这些阱均匀填充、是否会发生电子泄漏、空穴注入不足、串联电阻抬高和发热回写。也就是说,式 (18.16) 的终点仍是一个光学与材料层级的阈值条件,还不是器件级阈值电流。

这也是本章最需要与 第 19 章 衔接的地方。只要读者在这里形成“有了 MQW 和一个增益模型,阈值电流就差不多出来了”的印象,后面的器件主线就会立刻被破坏。 若要直接查看“从外加电流到阈值成立”的器件级方程链,请跳转到 第 19 章式 (19.7)式 (19.16)式 (19.17);若要查看显式载流子-光子速率方程形式,请见 第 23 章式 (23.1)式 (23.2)

回看本章

PCSEL 的有源区工程,必须围绕真实模式而不是抽象材料谱线来组织。SQW 与 MQW 的选择、应变工程、TE/TM 增益差异、势垒与阻挡层设计,共同决定材料增益能否在真实层栈中转化为目标模式的有效模增益。第 17 章 给出的 SCH 与能带台阶在这里继续发挥作用:它们既决定载流子是否被真正限制在有源区,也决定有源区与模式的纵向重叠。到本章结束时,读者应当已经清楚:从材料增益到模增益的链条已经建立,但它仍不能直接越级给出阈值电流,因为电流路径、接触和热反馈还没有进入求解。

练习题

  1. [基础] 比较 SQW 与 MQW 在 PCSEL 中的优缺点,回答中必须同时讨论模增益容量、注入均匀性和应变累积。

  2. [基础] 解释为什么压应变量子阱往往更有利于 TE-like PCSEL 模式,并说明这与 第 8 章 的偏振选择机制如何耦合。

  3. [进阶] 结合 式 (18.7)式 (18.10),说明为什么阻挡层设计不良会通过“局域增益稀释”影响模式竞争。

  4. [综合] 说明为何电子阻挡层的作用不能被简单表述为“减少漏电”,而应放到模增益与阈值链条中理解。

延伸阅读

PCSEL KNOWLEDGE BASE

PCSEL 理论、仿真与器件物理导论

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